廠商名稱：Keithley(吉時(shí)利) 商品描述：2460型大電流數(shù)字源表®源測(cè)量單元（SMU）儀器為 您帶來先進(jìn)的Touch, Test, Invent®（觸摸、測(cè)試、發(fā)明） 技術(shù)。它采用創(chuàng)新的圖形用戶界面(GUI)和電容觸摸屏技 術(shù)，不僅使測(cè)試直覺">

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2460 數(shù)字源表?源測(cè)量單元（SMU）儀器


廠商名稱：Keithley(吉時(shí)利)

商品描述：2460型大電流數(shù)字源表®源測(cè)量單元（SMU）儀器為 您帶來先進(jìn)的Touch, Test, Invent®（觸摸、測(cè)試、發(fā)明） 技術(shù)。它采用創(chuàng)新的圖形用戶界面(GUI)和電容觸摸屏技 術(shù)，不僅使測(cè)試直覺，而且實(shí)現(xiàn)學(xué)習(xí)曲線最小化，幫助工 程師和科學(xué)家更迅速學(xué)習(xí)、更聰明工作、更容易發(fā)明。

2460 數(shù)字源表®源測(cè)量單元（SMU）儀器 概述：


2460型大電流數(shù)字源表®源測(cè)量單元（SMU）儀器為 您帶來先進(jìn)的Touch, Test, Invent®（觸摸、測(cè)試、發(fā)明） 技術(shù)。它采用創(chuàng)新的圖形用戶界面(GUI)和電容觸摸屏技 術(shù)，不僅使測(cè)試直覺，而且實(shí)現(xiàn)學(xué)習(xí)曲線最小化，幫助工 程師和科學(xué)家更迅速學(xué)習(xí)、更聰明工作、更容易發(fā)明。2460型儀器具有7A直流和脈沖電流能力，已為高功率材 料、器件和模塊特性分析和測(cè)試而優(yōu)化，如碳化硅 (SiC)、 氮化鎵(GaN)、DC-DC轉(zhuǎn)換器、功率MOSFET、太陽電池 和面板、LED與照明系統(tǒng)、電化學(xué)電池與電池組，等等。 這些新的能力加上吉時(shí)利數(shù)十年開發(fā)高精密、高精度源測(cè) 量單元（SMU）儀器的專長，使得2460型儀器成為未來 實(shí)驗(yàn)室和機(jī)架大電流應(yīng)用的重要儀器。 

2460 數(shù)字源表®源測(cè)量單元（SMU）儀器 主要特性：

  • 在一個(gè)緊湊儀器內(nèi)集成了分析儀、 曲線追蹤儀和I-V系統(tǒng)等多種能力， 成本更低
  • 動(dòng)態(tài)范圍寬，105V, 7A DC/7A 脈沖, 100W（最大值）
  • 5英寸、高分辨率、電容觸摸屏圖 形用戶界面(GUI)
  • 基本測(cè)量準(zhǔn)確度0.012%，6位半 數(shù)字分辨率
  • 源和阱(4象限)操作
  • 4個(gè)“Quickset”模式，用于快速設(shè) 置和測(cè)量
  • 背景敏感的幫助功能
  • 前面板輸入香蕉插孔；后面板集 體輸入螺絲連接
  • 2460 SCPI與TSP®腳本編程模式
  • 前面板USB 2.0存儲(chǔ)器I/O端口， 用于傳輸數(shù)據(jù)、測(cè)試腳本或測(cè)試 配置

更迅速學(xué)習(xí)、更聰明工作、更容易發(fā)明 
2460型儀器采用5英寸、全彩色、高分辨率觸摸屏，支持直觀操作，幫助 操作人員迅速熟悉儀器，優(yōu)化整體速度和生產(chǎn)率?；诠鈽?biāo)的簡單菜單結(jié)構(gòu)， 使測(cè)試配置所需步驟減少50%，而且省去軟鍵儀器普遍使用的繁瑣的多層菜單 結(jié)構(gòu)。內(nèi)建的背景敏感的幫助功能，支持直觀操作，并把瀏覽單獨(dú)菜單的需求 降為最少。這些特性以及2460型儀器的多功能性，簡化了其在基礎(chǔ)測(cè)量和先進(jìn) 測(cè)量應(yīng)用中的操作，無論用戶是否具有使用源測(cè)量單元（SMU）儀器的工作經(jīng)驗(yàn)。 

2460型儀器主界面 

2460型儀器基于光標(biāo)的菜單結(jié)構(gòu)，可以幫助 新用戶迅速和自信地配置測(cè)試。 

一體化源測(cè)量單元（SMU）儀器 
2460型儀器基于獲獎(jiǎng)的第四代 源測(cè)量單元（SMU）平臺(tái)，并充分 利用已被證明的吉時(shí)利大電流源測(cè) 量單元（SMU）儀器（包括2420、 2425和2440型儀器）的能力。該儀 器可提供高度靈活的4象限電壓和電 流源/負(fù)載，適合高精密電壓和電流 測(cè)量。這款一體化源測(cè)量單元（SMU） 儀器可以用作： 

2460型儀器功率包絡(luò)
  • 高精密電源，具有V和I回讀功能
  • 真正的電流源
  • 數(shù)字多用表(數(shù)字電壓計(jì)、數(shù)字電 流計(jì)、電阻計(jì)和功率計(jì)，具有6位 半分辨率)
  • 高精度電子負(fù)載
  • 觸發(fā)控制器
2420/2425/2440型 2460型
最大電壓: 60V/100V/40V 最大電壓: 100V
最大電流: 3A/3A/5A 最大電流: 7A
直流功率: 60W/100W/50W 直流功率: 100W
寬頻帶噪聲: 10mVrms 典型值 寬頻帶噪聲: 2mVrms 典型值
掃描類型：
線性、日志、定制、源-存儲(chǔ)		 掃描類型：
線性、日志、雙線性、雙日志、定制
5000 點(diǎn)讀數(shù)緩存 >250,000 點(diǎn)讀數(shù)緩存
>2000 讀數(shù)/秒 >3000 讀數(shù)/秒
SCPI 編程 SCPI 編程 + TSP 腳本
GPIB, RS-232 GPIB,USB, 以太網(wǎng)(LXI)
前/后面板香蕉插孔 前面板：香蕉插孔
后面板：螺絲端子連接

易用性超越觸摸屏 
除了采用先進(jìn)的觸摸屏，2460型儀器的前面板還提供改進(jìn)速度、用戶友好性 和可學(xué)習(xí)性的諸多特性，包括USB 2.0存儲(chǔ)器I/O端口、HELP鍵、旋轉(zhuǎn)導(dǎo)航/控制 旋鈕、前面板/后面板輸入選擇按鈕、適合基本臺(tái)式應(yīng)用的香蕉插孔。USB 2.0存 儲(chǔ)器端口簡化存儲(chǔ)測(cè)試結(jié)果和儀器配置，將測(cè)試腳本上傳至儀器，以及安裝系統(tǒng) 升級(jí)。前面板的所有按鈕都采用背光，提高了低照環(huán)境下的可視性。 

2460型儀器的高分辨率、電容觸摸屏和前面板控制允許直觀操作，即使新用戶也感到易用。 

4種“Quickset”模式簡化了一起設(shè)置。 只需輕輕一觸，就可以為不同工作模式 快速配置儀器，無需為這個(gè)操作進(jìn)行間 接配置。 

一觸Quickset模式加速測(cè)量設(shè)置，把測(cè)量時(shí)間 降到最短。 

全面的內(nèi)建連接性 
通過2460型儀器后面板，可以接入后面板接入螺絲端子 連接器、程控控制接口(GPIB、USB 2.0與LXI/Ethernet)、 D-sub 9插針數(shù)字I/O端口(用于內(nèi)部/外部觸發(fā)器信號(hào)和處理 程序控制)、儀器互鎖控制以及TSP-Link®插孔，從而簡化多 臺(tái)儀器測(cè)試方案配置，并省去額外適配器附件的花銷。 

2460型儀器后面板連接已經(jīng)優(yōu)化，以保持信號(hào)完整性，并加速系統(tǒng)設(shè)置 

將原始數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為信息 
完整的繪圖窗口可以轉(zhuǎn)化原始數(shù)據(jù)，并立即顯示為有用 信息，如半導(dǎo)體I-V曲線和伏安圖。使用2460型儀器的電子表 （Sheet）瀏覽，測(cè)試數(shù)據(jù)還可以以表格形式顯示。該儀器 支持將數(shù)據(jù)輸出至電子數(shù)據(jù)表，用于進(jìn)一步分析，大大提高 研究、臺(tái)式測(cè)試、設(shè)備資格和調(diào)試的生產(chǎn)率。 

TriggerFlow®構(gòu)建模塊，適合儀器控制與執(zhí)行 
2460型儀器采用吉時(shí)利TriggerFlow觸發(fā)系統(tǒng)，便于用戶 對(duì)儀器執(zhí)行進(jìn)行控制。TriggerFlow圖形的創(chuàng)建與流程圖繪制 基本相同，它采用4個(gè)基本的構(gòu)建模塊：
  • 等待 – 等待一個(gè)事件的發(fā)生，然后繼續(xù)流動(dòng)
  • 分支 – 當(dāng)條件滿足時(shí)進(jìn)行分支
  • 動(dòng)作 – 啟動(dòng)儀器動(dòng)作，如測(cè)量、源、延遲、設(shè)置數(shù)字I/O等
  • 通知 – 通知其他設(shè)備已發(fā)生的事件

2460 數(shù)字源表?源測(cè)量單元（SMU）儀器 
TriggerFlow構(gòu)建模塊允許創(chuàng)建觸發(fā)模型，從極簡單到高度復(fù)雜的觸發(fā)模型。 

利用這些構(gòu)建模塊組合可以通過前面板構(gòu)建TriggerFlow 模型，也可以通過發(fā)送程控命令進(jìn)行構(gòu)建。有了TriggerFlow 系統(tǒng)，用戶可以構(gòu)建各種觸發(fā)模型，包括簡單觸發(fā)模型以及 多至255模塊等級(jí)的復(fù)雜觸發(fā)模型。2460型儀器還包括基本 的觸發(fā)功能，如即時(shí)/定時(shí)器/手動(dòng)觸發(fā)。 

內(nèi)建數(shù)據(jù)顯示、繪圖和電子數(shù)據(jù)表輸出功能， 很容易將測(cè)試結(jié)果轉(zhuǎn)化為有用信息。 

無與倫比的系統(tǒng)集成與編程靈活性 
當(dāng)2460型儀器配置為多通道I-V測(cè)試系統(tǒng)時(shí)，嵌入式測(cè)試 腳本處理器(TSP®)允許其運(yùn)行測(cè)試腳本，因此用戶可以創(chuàng)建 功能強(qiáng)大的測(cè)試應(yīng)用，并大幅縮短開發(fā)時(shí)間。TSP技術(shù)還提供 無需主機(jī)的通道擴(kuò)展能力。吉時(shí)利的TSP-Link®通道擴(kuò)展總線 采用100 Base T以太網(wǎng)電纜，可以在主從配置中實(shí)現(xiàn)多部 2460型儀器與其他TSP儀器的連接，如吉時(shí)利2450型數(shù)字源 表源測(cè)量（SMU）單元儀器、2600B系列系統(tǒng)數(shù)字源表源測(cè) 量（SMU）單元儀器及3700A系列開關(guān)/多用表系統(tǒng)，使之作 為一個(gè)集成系統(tǒng)工作。每個(gè)GPIB或IP地址的TSP-Link擴(kuò)展總 線支持32部設(shè)備，因此很容易擴(kuò)展系統(tǒng)，滿足具體的應(yīng)用需 求。2460型儀器還包括SCPI編程模式，可以充分利用儀器的 各種能力。 

并行測(cè)試能力 
2460型儀器的TSP技術(shù)支持多個(gè)器件并行測(cè)試，可以滿 足器件研究、先進(jìn)半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用級(jí)高吞吐生產(chǎn)測(cè)試需求。 這個(gè)并行測(cè)試能力允許系統(tǒng)中的每臺(tái)儀器運(yùn)行其自身的完整 測(cè)試序列，建立完全的多線程測(cè)試環(huán)境。2460型儀器可并行 運(yùn)行的測(cè)試數(shù)量與系統(tǒng)中儀器數(shù)量相同。 

免費(fèi)儀器控制啟動(dòng)軟件 
2460型儀器包含KickStart儀器控制/啟動(dòng)軟件，使用戶無 需編程即可在數(shù)分鐘內(nèi)開始測(cè)試。在多數(shù)情況下，用戶只需 進(jìn)行幾次快速測(cè)量，繪制數(shù)據(jù)圖表，并將數(shù)據(jù)存儲(chǔ)至磁盤， 以便日后在Excel等軟件環(huán)境分析數(shù)據(jù)。KickStart軟件提供以下功能:
  • 儀器配置控制，以執(zhí)行I-V特性分析
  • X-Y繪圖、平移和縮放
  • 通過電子數(shù)據(jù)表/表格瀏覽數(shù)據(jù)
  • 保存和輸出數(shù)據(jù)，用于深入分析
  • 保存測(cè)試設(shè)置
  • 屏幕截圖
  • 測(cè)試注釋
  • 命令行輸入，用于發(fā)送和接收數(shù)據(jù)
  • HTML幫助
  • GPIB、USB 2.0、以太網(wǎng)兼容

KickStart啟動(dòng)軟件讓用戶在幾分鐘內(nèi)做好測(cè)量準(zhǔn)備。 

利用現(xiàn)成的儀器驅(qū)動(dòng)程序簡化編程 

2460 數(shù)字源表®源測(cè)量單元（SMU）儀器 技術(shù)數(shù)據(jù)：


電壓規(guī)格1, 2

    電壓源 電壓測(cè)量 3
量程 最大電流 分辨率 準(zhǔn)確度 (23° ± 5°C)1 年±(% 設(shè)置 + 伏特) 噪聲 (RMS) (<10 Hz) 分辨率 輸入電阻 準(zhǔn)確度 (23° ± 5°C)1 年±(% 讀數(shù) + 伏特)
200.0000 mV 7.35 A 5 μV 0.015% + 200 µV 1 µV 100 nV >10 GW 0.012% + 200 µV
2.000000 V 7.35 A 50 µV 0.015% + 300 µV 10 µV 1 µV >10 GW 0.012% + 300 µV
7.000000 V 7.35 A 250 µV 0.015% + 2.4 mV 100 µV 1 µV >10 GW 0.015% + 1 mV
10.00000 V 5.25 A 500 µV 0.015% + 2.4 mV 100 µV 10 µV >10 GW 0.015% + 1 mV
20.00000 V 4.20 A 500 µV 0.015% + 2.4 mV 100 µV 10 µV >10 GW 0.015% + 1 mV
100.0000 V 1.05 A 2.5 mV 0.015% + 15 mV 1 mV 100 µV >10 GW 0.015% + 5 mV
電流規(guī)格 1, 2, 5
    電壓源 電壓測(cè)量3
量程 最大電壓 分辨率 準(zhǔn)確度 (23° ±5°C) 41 年±(% 設(shè)置 + 安培) 噪聲 (RMS) (<10 Hz) 分辨率4 輸入電阻6 準(zhǔn)確度 (23° ±5°C)1 年±(% 讀數(shù) + 安培)
1.000000 μA 105 V 50 pA 0.025% + 1 nA 40 pA 10 pA <100 µV 0.025% + 700 pA
10.00000 μA 105 V 500 pA 0.025% + 1.5 nA 40 pA 10 pA <100 µV 0.025% + 1 nA
100.0000 μA 105 V 5 nA 0.020% + 15 nA 100 pA 100 pA <100 µV 0.020% + 10 nA
1.000000 mA 105 V 50 nA 0.020% + 150 nA 1 nA 1 nA <100 µV 0.020% + 100 nA
10.00000 mA 105 V 500 nA 0.020% + 1.5 μA 10 nA 10 nA <100 µV 0.020% + 1 μA
100.0000 mA 105 V 5 μA 0.020% + 15 μA 100 nA 100 nA <100 µV 0.020% + 10 μA
1.000000 A 105 V 50 μA 0.050% + 750 μA 5 μA 1 μA <100 µV 0.050% + 500 μA
4.000000 A 21 V 250 μA 0.100% + 3 mA 25 μA 1 μA <100 µV 0.100% + 2.5 mA
5.000000 A 10.5 V 250 μA 0.100% + 3 mA 25 μA 1 μA <100 µV 0.100% + 2.5 mA
7.000000 A 7.35 V 500 μA 0.150% + 6 mA 125 μA 1 μA <100 µV 0.150% + 5 mA
溫度系數(shù) (0°–18°C和28°–50°C)： ±(0.10 × 精度指標(biāo))/°C
  1. 速度 = 1 PLC。
  2. 所有規(guī)格都在輸出開啟時(shí)確保。
  3. Accuracies apply to 2- and 4-wire mode when properly zeroed.
  4. 6.5-digit 電壓測(cè)量 分辨率.
  5. 6位半測(cè)量分辨率。
  6. 使用2460-KIT螺絲端子附件時(shí)確保準(zhǔn)確度規(guī)格。
  7. 4線模式。
電阻測(cè)量精度(本地或源端測(cè)量) 1, 2, 3
量程 缺省分辨率 4 缺省測(cè)試電流 一般準(zhǔn)確度(23°C ±5°C)1 年, ±(% 讀數(shù) + 歐姆) 增強(qiáng)準(zhǔn)確度 5(23°C ±5°C)1 年, ±(% 讀數(shù) + 歐姆)
<2.000000 Ω6 1 μΩ 用戶定義 電壓源 IACC + 測(cè)量 VACC 測(cè)量 IACC + 測(cè)量 VACC
20.00000 Ω 10 μΩ 100 mA 0.05% + 0.003 Ω 0.04% + 0.001 Ω
200.0000 Ω 100 μΩ 10 mA 0.05% + 0.03 Ω 0.04% + 0.01 Ω
2.000000 kΩ 1 mΩ 1 mA 0.05% + 0.3 Ω 0.04% + 0.1 Ω
20.00000 kΩ 10 mΩ 100 μA 0.05% + 3 Ω 0.04% + 1 Ω
200.0000 kΩ 100 mΩ 10 μA 0.05% + 30 Ω 0.05% + 10 Ω
2.000000 mΩ 1 W 10 μA 0.06% + 100 Ω 0.06% + 50 Ω
20.00000 mΩ 10 Ω 1 μA 0.14% + 1000 Ω 0.12% + 500 Ω
>20.0000 mΩ6 — User defined 電壓源 IACC + 測(cè)量 VACC 測(cè)量 IACC + 測(cè)量 VACC
溫度系數(shù) (0°–18°C和28°–50°C)： ±(0.10 ×精度指標(biāo))/°C
源電流、測(cè)量電阻模式：整體不確定性 = I源準(zhǔn)確度 + V測(cè)量準(zhǔn)確度 (4線遠(yuǎn)端測(cè)量)
源電壓、測(cè)量電阻模式：整體不確定性= V源準(zhǔn)確度 + I測(cè)量準(zhǔn)確度 (4線遠(yuǎn)端測(cè)量)
  1. 速度 = 1 PLC。
  2. 所有規(guī)格都在輸出開啟時(shí)確保。
  3. 正確歸零后，準(zhǔn)確度適用于2線和4線模式。 10. 6位半測(cè)量分辨率。
  4. 6位半測(cè)量分辨率。
  5. 支持源回讀。偏移補(bǔ)償開啟。
  6. 僅源電流測(cè)量電阻或源電壓測(cè)量電阻。
其他特性
最大輸出功率 — 100W, 4象限源或阱操作。
源限幅： — V源：±7.35V (≤7A量程), ±10.5V (≤5A量程), ±21V (≤4A量程), ±105V ( ≤1A量程)
I源：±7.35A (≤7V量程), ±5.25mA (≤10V量程), ±4.2A (≤20V量程), ±1.05mA (≤100V量程)
過量程 — 量程的105%，源和測(cè)量
調(diào)節(jié) — 電壓：線路：量程的0.01%，負(fù)載：量程的0.01% + 100μV。
電流：線路：量程的0.01%，負(fù)載：量程的0.01% + 100pA。
源限幅 — 電壓源電流限幅：雙極電流限幅設(shè)置為單一值。最小值為量程的10%。
電流源：<典型值的0.1% （1mA步長, R負(fù)載 = 10kΩ, 20V量程）。
V-限幅 / I-限幅精度 — 增量為設(shè)置的0.3%以及基本指標(biāo)讀數(shù)±0.02%。
過沖 — 電壓源：<典型值的0.1% （滿刻度步長, 電阻負(fù)載, 20V量程, 10mA I-限 幅）。
電壓源: <0.1% typical (1 mA step, RLoad = 10 kΩ, 20 V 量程).
量程變化過沖 — 量程變化過沖：對(duì)100kΩ的完全電阻負(fù)載過沖, 10Hz～20MHz帶寬，臨近量程：<250mV，典型值。
輸出建立時(shí)間 — 輸出建立時(shí)間：與最終值相差0.1%所需的時(shí)間, 20V量程, 100mA I-限幅：<200μs，典型值。
最大斜率 — 最大斜率：1V/μs，100V量程，對(duì)20kΩ負(fù)載，限幅為100mA (典型值)。0.6V/μs，20V量程，對(duì)20kΩ負(fù)載， 限幅為100mA (典型值)。
過壓保護(hù) — 過壓保護(hù)：用戶可選擇值5% ±0.5V容限。出廠缺省值=無。
電壓源噪聲 — 10Hz–20MHz (RMS)：<4.5mV，針對(duì)電阻負(fù)載的典型值。
共模電壓 — 250V DC
共模隔離 — >1G Ω, <1000 pF.
噪聲抑制(典型值)：
NPLC NMRR CMRR
0.01 — 60 dB
0.1 — 60 dB
1 60 dB 100 dB
負(fù)載阻抗 — 一般模式：20nF，典型值 。
大電容模式 — 穩(wěn)定至50μF，典型值。對(duì)于≥100μA量程，大電容模式有效。
FORCE和SENSE端之間的最大電壓降：5V
測(cè)量引線最大電阻 — 1MΩ，針對(duì)額定精度。
測(cè)量輸入阻抗 — >10 GΩ.
保護(hù)偏移電壓 — <300 µV, 典型值
系統(tǒng)測(cè)量速度 1
頻率為60Hz (50Hz)的讀取速度(讀數(shù)/秒) 典型值，腳本(TSP®)可編程
NPLC 觸發(fā)源 對(duì)內(nèi)存測(cè)量 對(duì)GPIB/USB/LAN測(cè)量 對(duì)內(nèi)存的源測(cè)量 對(duì)GPIB/USB/LAN的源測(cè)量
0.01 內(nèi)部 3050 (2800) 2800 (2500) 1700 (1600) 1650 (1550)
0.01 外部 2300 (2100) 2150 (2000) 1650 (1550) 1600 (1450)
0.1 內(nèi)部 540 (460) 530 (450) 470 (410) 470 (400)
0.1 外部 500 (420) 500 (420) 460 (390) 450 (350)
1.00 內(nèi)部 59 (49) 59 (49) 58 (48) 58 (48)
1.00 外部 58 (48) 58 (48) 57 (48) 57 (46)
頻率為60Hz (50Hz)的讀取速度(讀數(shù)/秒) 典型值，SCPI可編程
NPLC 觸發(fā)源 對(duì)內(nèi)存測(cè)量 對(duì)GPIB/USB/LAN測(cè)量 對(duì)內(nèi)存的源測(cè)量 對(duì)GPIB/USB/LAN的源測(cè)量
0.01 內(nèi)部 3000 (2800) 3000 (2790) 1700 (1600) 1550 (1500)
0.01 外部 2330 (2150) 2330 (2150) 1650 (1550) 1500 (1450)
0.1 內(nèi)部 540 (460) 540 (460) 470 (410) 460 (400)
0.1 外部 510 (430) 510 (430) 470 (400) 460 (390)
1.00 內(nèi)部 59 (49) 59 (49) 58 (48) 58 (48)
1.00 外部 58 (49) 58 (49) 58 (48) 58 (48)

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